氦質(zhì)譜檢漏儀維修機(jī)械泵故障及處理。

1.機(jī)械泵不動(dòng)。

檢查項(xiàng)目包括：氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器電源電壓是否正常，開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過(guò)熱（泵冷卻后是否可啟動(dòng)）。

2.機(jī)械泵聲音異常。

檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變質(zhì)，油溫是否變質(zhì)。

氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理。

1.TMP在儀器界面上顯示0，即分子泵不工作。

可能是前壓（分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa）可能導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查壓力過(guò)高的項(xiàng)目包括：真空管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否泄漏。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以用工具撥動(dòng)葉片，以確定葉片是否可以旋轉(zhuǎn)。

2.分子泵加速指示燈不亮。

電路板上的保險(xiǎn)絲燒壞，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

3.分子泵故障燈亮。

檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器分子泵的電源可能出現(xiàn)故障。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理。

1.燈絲不能正常啟動(dòng)。在確認(rèn)機(jī)械泵。分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座和接線柱是否開(kāi)路。如果開(kāi)路，需要更換燈絲。如果不開(kāi)路，檢查接線柱是否與其他接頭連接，以消除短路。

2.底部信號(hào)處于混亂的波動(dòng)狀態(tài)，尺寸遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器故障本身的底部噪聲，需要考慮放大器是否故障。一般用戶無(wú)法解決質(zhì)譜室的故障，只需定位故障并移交維修ZX。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)開(kāi)始時(shí)出現(xiàn)故障。

1.檢漏鍵無(wú)效(綠色指示燈亮)

檢查燈絲是否啟動(dòng)。若燈絲未啟動(dòng)或斷開(kāi)，按檢漏鍵無(wú)反應(yīng)。

2.檢漏鍵無(wú)效(指示燈不亮)

I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器故障后面的插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面的插座，氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器將接受I/O口輸入信號(hào)遙控信號(hào)，檢漏鍵無(wú)效。

氦質(zhì)譜檢漏儀自動(dòng)校準(zhǔn)結(jié)束時(shí)的故障。

自動(dòng)校準(zhǔn)失敗（燈絲亮）紅色校準(zhǔn)燈亮。首先，檢查自動(dòng)校準(zhǔn)設(shè)置，開(kāi)關(guān)S1是否處于OFF位置，設(shè)置的泄漏值是否與標(biāo)準(zhǔn)泄漏值一致。溫度傳感器是否連接；二是檢查靈敏度，清潔質(zhì)譜室（如果外部校準(zhǔn)泄漏檢查顯示值與實(shí)際值一致，也可使用氦質(zhì)譜泄漏檢查儀）。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏故障。

1.檢漏口壓力不轉(zhuǎn)換為細(xì)檢方式。

2.靈敏度低。檢查三極規(guī)測(cè)量的壓力，等待質(zhì)譜室壓力。

3.氦的底部太高了。檢查機(jī)械泵油是否失效（泵油長(zhǎng)期變質(zhì)會(huì)吸收更多氦，導(dǎo)致氦污染），檢查儀器系統(tǒng)是否泄漏，真空管道是否污染，三極規(guī)壓力是否達(dá)到10-6mpa，離子源是否污染。此外，還應(yīng)注意環(huán)境污染問(wèn)題。如果有多個(gè)氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器，氦的使用量大，通風(fēng)不良，導(dǎo)致氦擴(kuò)散緩慢，也會(huì)導(dǎo)致氦污染。解決方案是在泄漏檢測(cè)出口的排氣閥出口（通常通過(guò)大氣）安裝一個(gè)容量為幾升的氣瓶，與低壓氦管連接。這大大減少了環(huán)境氦污染。

4.工具設(shè)計(jì)不合理，導(dǎo)致泄漏檢測(cè)失敗。初步檢查工作正常，工作幾次后，抽樣速度大大減慢，泄漏檢測(cè)失敗；加上氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器不泄漏，工作正常。這是由于工具設(shè)計(jì)不合理造成的，如工具結(jié)構(gòu)不合理、內(nèi)表面粗糙、氦殘留過(guò)多；或密封設(shè)計(jì)不合理（由于工具設(shè)計(jì)師不熟悉專業(yè)真空設(shè)計(jì)）。

5.操作不合理導(dǎo)致故障。例如，在工作中，有一個(gè)大泄漏工件，由于操作人員判斷錯(cuò)誤，不認(rèn)為工件泄漏，并檢查工具的連接或氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器，多次檢查工件泄漏。所以你會(huì)發(fā)現(xiàn)所有的工件都只是。原因是大泄漏工件經(jīng)過(guò)多次泄漏檢測(cè)，大量氦進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決辦法是清潔質(zhì)譜室，反復(fù)吸氣和排氣。